LiteScope?掃描探針顯微鏡（SPM），便于集成到各種掃描電子顯微鏡（SEM）中?；パaSPM和SEM技術的結合（CPEM）可以進行復雜的樣品分析，包括表面形貌、機械性能、電性能、化學成分、磁性等的表征。 還能與其他掃描電鏡附件相結合，如聚焦離子束（FIB）或氣體注入系統(GIS ）用于納米/微結構的制備和表面改性可以對裝配結構的快速和簡單的3D檢查。 同時，SPM和SEM測量能夠在同一地點、同一時間、同一協調系統進行。